Présentation

L’équipe TMP-D&S, animée par T. Minea, regroupe la majeure partie des activités de recherche sur les plasmas basse pression du LPGP. Cette équipe dispose d’un large parc de réacteurs plasma sous vide concernant les activités ‘Décharges et Surfaces’ (D&S), mais également de nombreux modèles de divers plasmas, pour les activités ‘Théorie et Modélisation des Plasmas’ (TMP).

Les études scientifiques menées dans l’équipe TMP – D&S concernent la physique des décharges et les mécanismes de dépôt de puissance permettant l’ionisation des gaz et les réactions engendrées. Ces études visent la compréhension des mécanismes gouvernant ses décharges permettant de maîtriser et de contrôler les plasmas, allant de la conception de nouveaux procédés jusqu’à l’analyse des dépôts effectués par voie plasma. Ses réalisations puisent dans les connaissances acquises soit par la caractérisation expérimentale du plasma, soit par le biais de la modélisation et des simulations numériques.

Les recherches de l’équipe TMP-D&S concernent la production, la compréhension, l’amélioration et l’optimisation des plasmas froids, mais également la production de particules chargées (électron et ions), ainsi que des espèces actives (métastables, radicaux, etc.) en phase gazeuse ou en interaction avec des surfaces. Avec la réduction des dimensions du plasma (micro-plasma) certains travaux concernent les décharges pouvant fonctionner à la pression atmosphérique, alors que d’autres concernent les décharges sous vide (sans gaz injecté). Privilégiant toujours une démarche fondamentale, les recherches menées au sein de cette équipe débouchent régulièrement sur des applications telles que le dépôt de couches minces, le traitement plasma des polymères, le contrôle de la combustion, ou la conception de nouveaux dispositifs et procédés plasmas. Certains travaux se placent à l’interface entre les plasmas froids et les plasmas chauds, tels que les recherches relatives au projet ITER où des plasmas froids sont créés par des particules de très haute énergie (injecteur de neutres, plasma de bord, etc.), le rayonnement ionisant (synchrotron) ou la tenue sous très hautes tensions (MegaVolts).